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    多光束激光干涉仪 XM-60

    XM-60是一款可测量6个自由度的激光测量系统:
    沿线性轴
    全方位测量
    只需一次设定

    全国服务热线:134-3598-9810
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    产品介绍Product introduction

    XM-60多光束激光干涉仪

    XM-60多光束激光干涉仪

    XM-60是一款可测量6个自由度的激光测量系统:

    沿线性轴;

    全方位测量;

    只需一次设定 测量误差包括:

    轴的线性定位;

    垂直平面的角度旋转(仰俯);

    水平平面的角度旋转(扭摆);

    水平平面的直线度偏移;

    以线性运动轴为中心的滚摆;

     

    产品参数Product parameters

    性能规格

    线性

    测量精度

    ±0.5ppm(使用环境补偿)

    分辨率

    1nm

    测量范围

    0m至4m

    直线度

    精度

    ±0.01A/±2µm(A=显示的直线度读数)

    分辨率

    0.25µm

    测量范围

    250µm(半径)

    角度(俯仰/扭摆)

    精度

    ±0.006A/±(0.5微弧度+0.1M微弧度)(M=测量的距离,单位:米) (A=显示的角度读数)

    分辨率

    0.03微弧度

    测量范围

    ±500微弧度

    滚摆

    精度

    ±0.01A±9.1微弧度(A=显示的角度读数)

    分辨率

    0.5微弧度

    测量范围

    ±500微弧度

    工作与存储环境

    工作环境

    空气压力

    600毫巴-1150毫巴

    标准环境

    湿度

    相对湿度0%-95%

    非冷凝

    温度

    10°C至40°C

    存储环境

    空气压力

    550毫巴–1200毫巴

    标准环境

    湿度

    相对湿度0%-95%

    非冷凝

    温度

    -20°C至70°C

    产品展示Product display

    多光束激光干涉仪 XM-60

    产品优势Product advantage

    微信图片_20210708171943

    应用场景Application scenarios

    微信图片_20210708171523

    资料下载Data download

    标准精度机床测头 RLP40激光干涉仪XM-60资料

    点击下载

     

    采购:多光束激光干涉仪 XM-60

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