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多光束激光干涉仪 XM-60
XM-60是一款可测量6个自由度的激光测量系统：
沿线性轴
全方位测量
只需一次设定全国服务热线：134-3598-9810
产品介绍Product introduction
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XM-60多光束激光干涉仪
XM-60是一款可测量6个自由度的激光测量系统：
沿线性轴；
全方位测量；
只需一次设定 测量误差包括：
轴的线性定位；
垂直平面的角度旋转（仰俯）；
水平平面的角度旋转（扭摆）；
水平平面的直线度偏移；
以线性运动轴为中心的滚摆；
产品参数Product parameters
性能规格
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线性 |
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测量精度 |
±0.5ppm（使用环境补偿） |
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分辨率 |
1nm |
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测量范围 |
0m至4m |
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直线度 |
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精度 |
±0.01A/±2µm(A=显示的直线度读数) |
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分辨率 |
0.25µm |
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测量范围 |
250µm（半径） |
|
角度（俯仰/扭摆） |
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精度 |
±0.006A/±(0.5微弧度+0.1M微弧度)(M=测量的距离，单位：米) (A=显示的角度读数) |
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分辨率 |
0.03微弧度 |
|
测量范围 |
±500微弧度 |
|
滚摆 |
|
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精度 |
±0.01A±9.1微弧度(A=显示的角度读数) |
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分辨率 |
0.5微弧度 |
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测量范围 |
±500微弧度 |
工作与存储环境
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工作环境 |
||
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空气压力 |
600毫巴-1150毫巴 |
标准环境 |
|
湿度 |
相对湿度0%-95% |
非冷凝 |
|
温度 |
10°C至40°C |
|
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存储环境 |
||
|
空气压力 |
550毫巴–1200毫巴 |
标准环境 |
|
湿度 |
相对湿度0%-95% |
非冷凝 |
|
温度 |
-20°C至70°C |
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产品展示Product display
产品优势Product advantage
应用场景Application scenarios
资料下载Data download
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采购：多光束激光干涉仪 XM-60
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