激光干涉仪,以光的波长为已知总长度,使用迈克耳逊干涉系统精确测量偏移的常用尺寸测量。
该设备的管理维护方法:
1、激光干涉仪应避免出现在环境温度变化大、有风、湿冷区域环境下精确测量,这个时候检验结果将接收到非常大的不良影响。
2、该设备需要定人保管,机械加工技术组相关工作人员专人常用,专人检验,别人不可以任意使用,可以预防毁坏,减少精确度。
3、激光干涉仪要设定专库储存,区域环境规定干燥、透风、抗震、防雾镜、防污、防锈处理。仪器设备应维持空气干燥。
4、对仪器设备要小心轻放,避免出现明显的冲击性震动,安装使用仪器设备前要查验三脚架的结实性,全部操作全过程中相关工作人员不可以离去仪器设备,避免 意外事故出现。