激光干涉仪环境的的影响因素及消除方法

1、影响因素

下面所列任何一种环境参数的变化都会导致大约1μm的误差：

(1)、空气温度:1℃

(2)、空气压力:0.3kPa

(3)、相对湿度:30%

特别是振动对测量的影响是非常大的，振动可能导致测量数据的分散，明显影响重复性的测量。甚至可能使测量无法正常进行下去。

2、减少及消除的方法

(1)、测量尽量在恒温车间进行，以保持环境温度的相对稳定。

(2)、在环境参数偏离标准条件时，可使用EC10环境补偿单元对温度、压力、湿度进行自动补偿，可使上述(温度、压力、湿度)误差减少到±1.1μm。

(3)、尽量关掉车间的照明灯和机床上的工作灯，以减少热源。

(4)、在夏季，为了减少激光器的发热，可用电风扇对其进行散热和降温，以延长激光器的使用时间。

(5)、在测量时，应尽量避免车间各种振动的产生，如机床、行车等。在必要时，可在下班或晚上比较安静的环境下测量。同时，应将反射镜和干涉镜分别安装在刀具/中滑板位置和床身位置上，激光器安装在尽量靠近机床的位置，使用尽可能短的加长安装附件来固定光学元件，以减少机床振动产生的影响。

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