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激光干涉仪环境的的影响因素及消除方法

返回列表来源:雷尼绍RENISHAW-比对仪代理厂家,供应商 发布日期: 2020.02.04 浏览:21

激光干涉仪环境的的影响因素及消除方法

1、影响因素

下面所列任何一种环境参数的变化都会导致大约1μm的误差:

(1)、空气温度:1℃

(2)、空气压力:0.3kPa

(3)、相对湿度:30%

特别是振动对测量的影响是非常大的,振动可能导致测量数据的分散,明显影响重复性的测量。甚至可能使测量无法正常进行下去。

2、减少及消除的方法

(1)、测量尽量在恒温车间进行,以保持环境温度的相对稳定。

(2)、在环境参数偏离标准条件时,可使用EC10环境补偿单元对温度、压力、湿度进行自动补偿,可使上述(温度、压力、湿度)误差减少到±1.1μm。

(3)、尽量关掉车间的照明灯和机床上的工作灯,以减少热源。

(4)、在夏季,为了减少激光器的发热,可用电风扇对其进行散热和降温,以延长激光器的使用时间。

(5)、在测量时,应尽量避免车间各种振动的产生,如机床、行车等。在必要时,可在下班或晚上比较安静的环境下测量。同时,应将反射镜和干涉镜分别安装在刀具/中滑板位置和床身位置上,激光器安装在尽量靠近机床的位置,使用尽可能短的加长安装附件来固定光学元件,以减少机床振动产生的影响。


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